DRK8090 ફોટોઇલેક્ટ્રિક પ્રોફાઇલર

આ સાધન બિન-સંપર્ક, ઓપ્ટિકલ ફેઝ-શિફ્ટિંગ ઇન્ટરફેરોમેટ્રિક માપન પદ્ધતિ અપનાવે છે, માપન દરમિયાન વર્કપીસની સપાટીને નુકસાન કરતું નથી, વિવિધ વર્કપીસની સપાટીની માઇક્રો-ટોપોગ્રાફીના ત્રિ-પરિમાણીય ગ્રાફિક્સને ઝડપથી માપી શકે છે અને માપનનું વિશ્લેષણ અને ગણતરી કરી શકે છે. પરિણામો

ઉત્પાદન વર્ણન
લક્ષણો: વિવિધ ગેજ બ્લોક્સ અને ઓપ્ટિકલ ભાગોની સપાટીની ખરબચડી માપવા માટે યોગ્ય; શાસક અને ડાયલના જાળીદારની ઊંડાઈ; ગ્રેટિંગ ગ્રુવ સ્ટ્રક્ચરના કોટિંગની જાડાઈ અને કોટિંગ બાઉન્ડ્રીની સ્ટ્રક્ચર મોર્ફોલોજી; ચુંબકીય (ઓપ્ટિકલ) ડિસ્કની સપાટી અને ચુંબકીય હેડનું માળખું માપન; સિલિકોન વેફર સપાટીની ખરબચડી અને પેટર્ન માળખું માપન, વગેરે.
સાધનની ઉચ્ચ માપન ચોકસાઈને કારણે, તે બિન-સંપર્ક અને ત્રિ-પરિમાણીય માપનની લાક્ષણિકતાઓ ધરાવે છે, અને કમ્પ્યુટર નિયંત્રણ અને માપન પરિણામોના ઝડપી વિશ્લેષણ અને ગણતરીને અપનાવે છે. આ સાધન પરીક્ષણ અને માપન સંશોધન એકમોના તમામ સ્તરો, ઔદ્યોગિક અને ખાણકામ એન્ટરપ્રાઇઝ માપન રૂમ, ચોકસાઇ પ્રક્રિયા વર્કશોપ માટે યોગ્ય છે અને ઉચ્ચ શિક્ષણ અને વૈજ્ઞાનિક સંશોધન સંસ્થાઓ વગેરેની સંસ્થાઓ માટે પણ યોગ્ય છે.
મુખ્ય તકનીકી પરિમાણો
સપાટીની માઇક્રોસ્કોપિક અસમાનતાની ઊંડાઈ માપવાની શ્રેણી
સતત સપાટી પર, જ્યારે બે અડીને આવેલા પિક્સેલ્સ વચ્ચે 1/4 તરંગલંબાઇ કરતાં વધુ ઊંચાઈમાં અચાનક ફેરફાર થતો નથી: 1000-1nm
જ્યારે બે અડીને આવેલા પિક્સેલ્સ વચ્ચે તરંગલંબાઇના 1/4 કરતા વધુ ઊંચાઈનું પરિવર્તન થાય છે: 130-1nm
માપની પુનરાવર્તિતતા: δRa ≤0.5nm
ઉદ્દેશ્ય લેન્સ વિસ્તૃતીકરણ: 40X
સંખ્યાત્મક છિદ્ર: Φ 65
કાર્ય અંતર: 0.5mm
ઇન્સ્ટ્રુમેન્ટ ફીલ્ડ ઓફ વ્યુ વિઝ્યુઅલ: Φ0.25 મીમી
ફોટોગ્રાફ: 0.13×0.13mm
ઇન્સ્ટ્રુમેન્ટ મેગ્નિફિકેશન વિઝ્યુઅલ: 500×
ફોટોગ્રાફ (કોમ્પ્યુટર સ્ક્રીન દ્વારા અવલોકન) -2500×
રીસીવર માપન એરે: 1000X1000
પિક્સેલ કદ: 5.2×5.2µm
માપન સમય સેમ્પલિંગ (સ્કેનિંગ) સમય: 1S
ઇન્સ્ટ્રુમેન્ટ સ્ટાન્ડર્ડ મિરર પરાવર્તકતા (ઉચ્ચ): ~50%
પ્રતિબિંબ (ઓછું): ～4%
લાઇટિંગ સ્ત્રોત: અગ્નિથી પ્રકાશિત દીવો 6V 5W
લીલા હસ્તક્ષેપ ફિલ્ટર તરંગલંબાઇ: λ≒530nm
અડધી પહોળાઈ λ≒10nm
મુખ્ય માઇક્રોસ્કોપ લિફ્ટ: 110 મીમી
ટેબલ લિફ્ટ: 5 મીમી
X અને Y દિશામાં ચળવળની શ્રેણી: ～10 mm
વર્કટેબલની રોટેશનલ રેન્જ: 360°
વર્કિંગ ટેબલની ટિલ્ટ રેન્જ: ±6°
કમ્પ્યુટર સિસ્ટમ: P4, 2.8G અથવા વધુ, 1G અથવા વધુ મેમરી સાથે 17-ઇંચ ફ્લેટ-સ્ક્રીન ડિસ્પ્લે